光学镀膜

茂莱可以在各种玻璃，红外晶体以及金属基片上镀制绝大多数光学薄膜，当然也可以根据客户需求研制特殊的薄膜。根据客户的特殊应用与要求，我们会运用我们在膜系设计与性能分析上的专业知识或技能，来帮助客户找到最佳镀膜方案。

以下是一些常见的薄膜：

	增透膜深紫外至远红外0.180um-14um; 单点增透 (e.g. R<0.05%@633nm), 宽带增透 (e.g. R<1%@450-1000nm) 双波段增透 (g. R<0.5%@400-700nm & 1064nm); 高效增透 (e.g. R<0.25@400-700nm), 高耐久增透 (severe abrasion); 高激光损伤阈值增透 (e.g. 2.6J/cm2, 7ns pulse,20Hz)
	分光膜金属分光膜，介质分光膜消偏振分光膜 (e.g. T/R=50/50±5%@400-700nm, \|Tp-Ts\|<5%), 偏振分光膜 (e.g. Tp/Ts>1000:1@400-700nm);
	高反膜金属高反膜，介质高反膜深紫外至远红外0.180um-14um; 镀膜口径最大1600mm 单点高反膜 (e.g. 99.8%@632nm), 宽带高反膜 (e.g. R>99%@400-700nm); 高激光损伤阈值高反膜 (e.g. 10 J/cm2, 7ns pulse 20Hz)
	滤光片深紫外至远红外 0.180um-14um 截止滤光片 (e.g. T>96%@400-650nm; T<1%@680-1100nm) 宽带滤光片 (e.g. T<0.1%@300-470nm& 830-1100nm; T>94%@500-800nm) 窄带滤光片 (Tp>85%@1064nm, FWHM=5nm) 双峰滤光片 (Tp>95%@590-630nm& 720-780nm; T<1%@540-570nm&660-700nm) 负滤光片 (T>90%@400-780nm, T>80%@920-1100nm; R>95%@835-865nm) 中心滤光片（衰减片） (T=1E-6@400-1100nm) 修饰滤光片渐变滤光片
	导电膜方阻值 80-400Ω/□ with T>95% 金属电极
	其他憎水膜防雾膜

镀膜技术：

蒸发式镀膜，是利用高能电子束气化待镀材料，使其沉积到基板上，这种蒸发法真空度高（P<10^-6Pa），特别适于蒸镀易氧化材料，此类方法产生的蒸镀粒子动能小，膜系疏松，需借助离子束辅助镀膜技术提高膜系的致密度。

溅射式镀膜，主要分为离子束溅射和磁控溅射，是利用气体离子将被镀材料溅射沉积到基板上，此类方法产生的溅射粒子的动能较大，膜系密度高。溅射过程容易控制，能得到稳定的镀膜速率，用于EUVL的多层膜大多用溅射镀膜法制成。

通过灵活应用蒸发镀膜和溅射镀膜发法，我们可以选取最佳的镀膜材料和方法来达到客户的特殊要求。