干涉仪&标准镜

干涉仪&标准镜

卧式干涉仪

  1. 可定制性:根据需求更换不同波长的光源或其他配置。。
  2. 实用性强:适用于中小型光学加工企业,操作简便。

作为光学加工公司,我们对干涉仪的使用和实际功能有更好的了解。基于我们光学的垂直整合能力,开发了我们自有品牌的干涉仪系列。该系列干涉仪适用于中小型和大型光学加工公司,非常易于操作。 当然我们也可以根据客户特殊的要求定制干涉仪

Parameter Measurement and units
Test Beam Diameter 4 inches (102 mm)
Alignment FOV  3 degrees
Optical Centerline 4.25 in. (108 mm)
Laser Source HeNe, Class IIIa
Wavelength 632.8 nm
Polarization Nominally circular
Camera Resolution  1,024 x 1,024 pixels
Camera Frame Rate 70 fps
Acquisition Time 300ms
Digitization 8, 10, 12 or 16
Magnification 1-6x motorized
Pupil Focus Range Motorized ±2.5 m
Alignment Twin spot
Hand Controller Remote zoom, focus, intensity
Computer High-performance PC, Latest Windows 64 bit
Software Apre
Power 100 to 240 VAC, 50/60 Hz
Temperature Range Operational 15 to 30°C (59 to 86°F)
Storage Temperature Range 0 to 50°C
Rate of Temp. Change <1.0°C per 15 min
Humidity 5 to 95% relative, non-condensing
Vibration Isolation passive isolation system

立式干涉仪

  1. 高效率:可用于工业大批量生产,快速检测。
  2. 非接触式检查方法:避免表面损伤。

PHASE SHIFT是一个容易操作、测试效率高的设备,适用于光学加工,用非接触式的检验方法检测光学零件的面型和曲率半径,可以避免表面损坏,也不需要做测试样板。

Parameter Measurement and units
Principle Fizeau interferometer
Effective diameter 100mm
Interpretation of surface figure visual Interpretation
Measurement Range of radius  concave 3-500mm
 convex According to the TS
Max measurement diameter According to the TS
Wavelength 632.8 nm
Alignment Twin spot
Accuracy of radius R>3-100mm         ΔR≤0.01mm
R>100-300mm     ΔR≤0.03mm
R>300-500mm     ΔR≤0.05mm
ΔR=|A-B|
Light source He-Ne laser
Vibration Isolation air cushion vibration isolation
 

Other configuration

 

Steel framed structure, marble platform, measuring system inverted, three-jaw holder, step motor lifting.

标准镜头

MTS系列标准镜头是一种高质量的精密镜头,专门用于高精度光学元件的面形和光学系统波前等的干涉计量测量。其参考镜采用熔融石英,热稳定性好,参考面精度达到λ/20或以上。

60mm 30mm
Type F0.7 F1.0 F2.0 F0.65 F1.0 F1.4 F2.0
F number 0.7 1 2 0.65 1 1.4 2
Radius of reference surface (mm) 23.08 43.38 105.58 11.268 21.498 32 52
Max.test diameter convex (mm) Φ32 Φ44 Φ54.6 Φ17 Φ21.44 Φ32 Φ28
Max.test radius convex (mm) 21.45 41.64 102.9 10.86 20.348 30.386 50.366
Transmitted Wavefront (PV) <1.5λ <1.5λ <1λ <1.5λ <1.5λ <1λ <1λ
Quality of reference surface (PV) λ/20
Reflectivity of reference surface 4%
Mechanical mount Fujinon F601 Bayonett
100mm
Type F0.75 F1.5 F3.3 F5.6 F7.2 F11 4”-2”Converter 4”-6”Converter
F number 0.75 1.5 3.3 5.6 7.2 11
Radius of reference surface(mm) 48.34 121.47 309.13 530.43 686.49 1064.79
Max.test diameter convex(mm) Φ66 Φ84 Φ92.4 Φ98 Φ99 Φ99
Max.test radius convex(mm) 45.7 119.01 294.44 521.37 678.8 1056.45
Transmitted Wavefront(PV) <1.5λ <1.5λ <1λ <0.5λ <0.5λ <0.5λ <3λ <3λ
Quality of reference surface(PV) λ/20
Reflectivity of reference surface 4%
Mechanical mount Zygo Bayonett

 

152.4mm                                                                                                 Transmission Flat
Type F1.1 F2.2 F3.2 F5.3 F7.2 TF100 TF150 TF200 TF300
F number 1.1 2.2 3.2 5.3 7.2 100 150 200 300
Radius of reference surface (mm) 123 290 476 776 1045
Max.test diameter convex (mm) 117 143 144 144 144
Max.test radius convex (mm) 121 271 451 751 1014
Transmitted Wavefront (PV) <1.5λ <1.5λ <1.5λ <1.5λ <1.5λ
Quality of reference surface (PV) λ/20
Reflectivity of reference surface 4%
Mechanical mount Zygo Bayonett